MIYUKI美幸辉 真空压力控制器 MGCS-11 内置PID自动调谐，压力控制精度高，减少现场调试工作量；双通道真空计输入，宽压力区间覆盖高真空至常压；7组工艺参数存储，多工艺配方快速切换；触摸屏+I/O+RS‑232C多方式操作控制；支持UPS外接，停电联动关阀保护腔体工件；半尺寸19英寸机架，机柜安装布局紧凑；可直接驱动BAR/GAR伺服阀，整套系统匹配度高；自带真空计供电输出

MIYUKI美幸辉 真空阀门控制器 MS-VP 面板LED直观显示电源、报警、阀位状态；丰富开关量I/O，方便对接PLC时序逻辑；金属壳体，DIN柜内安装，体积紧凑；专门匹配BAR、GAR系列伺服真空阀，无需额外调试；GAR闸阀使用需额外配置锁止器电缆；维护简单，适合洁净真空制程长时间运行。

MIYUKI美幸辉 真空压力控制阀 BAR-J200 伺服电机直驱蝶板，无传动背隙，开度调节重复精度高；无金属滑动摩擦，低颗粒析出适配洁净工艺；大口径DN200规格，流导大，适配大容积腔室；超低泄漏指标，满足高真空制程；阀体可耐受150℃烘烤；JIS200A标准法兰，管路装配便捷；可与MGCS‑11控制器成套实现PID闭环压力控制；启闭噪音低，维护简单适合长时间连续运行。

MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 BAR-J25 伺服电机直驱蝶板，无传动背隙，小开度压力控制稳定；无金属滑动摩擦，低颗粒析出适配洁净工艺；超低泄漏指标，满足高真空制程；阀体可耐受150℃烘烤；JIS标准法兰，管路装配便捷；可与MGCS‑11控制器成套实现PID闭环压力控制；启闭噪音低，体积小巧，适配设备狭小安装空间；停电无锁止，维护简单适合长时间连续运行。

MIYUKI美幸辉 真空蝶阀 BH-J35 双气缸三工位结构，单阀完成慢抽、慢破真空、大通量排气；0‑45°慢开角度机械可调，抑制气流冲击，保护腔体内工件；接气SUS304镜面电解抛光，低放气、低颗粒析出；超低泄漏指标，满足高真空工艺；阀体支持150℃烘烤；JIS350A标准法兰，管路装配便捷；标配微动开关，阀位状态接入PLC时序控制；气动驱动无电火花，适配易燃易爆工艺气体；大流导薄阀体