MIYUKI美幸辉 真空压力控制器 MGCS-11
内置PID自动调谐，压力控制精度高，减少现场调试工作量；双通道真空计输入，宽压力区间覆盖高真空至常压；7组工艺参数存储，多工艺配方快速切换；触摸屏+I/O+RS‑232C多方式操作控制；支持UPS外接，停电联动关阀保护腔体工件；半尺寸19英寸机架，机柜安装布局紧凑；可直接驱动BAR/GAR伺服阀，整套系统匹配度高；自带真空计供电输出

MIYUKI美幸辉 真空压力控制器 MGCS-11

MIYUKI 美幸辉（株式会社美幸輝）是日本专业真空阀门全流程制造厂商，拥有二十余年真空阀焊接、组装制造经验，自有无尘装配车间与检漏设备，具备标准机型量产以及非标真空阀定制开发能力株式会社美...。品牌核心产品线包含伺服电动真空蝶阀、气动真空阀、手动真空阀、真空压力控制器、APC 自动压力控制系统，阀体主流采用 SUS316L 不锈钢，内腔电解镜面抛光，波纹管隔离阀杆结构规避摩擦发尘，金属波纹管密封版本泄漏率低至 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，密封件可选 FKM、Kalrez 全氟醚材质，适配常压至高真空多区间工况，可实现腔体通断、精密稳压、梯度破空、背压调节等功能，满足 SEMI 半导体洁净标准，低析出低发尘，能够避免工艺腔体受到污染。产品广泛应用于半导体 CVD、PVD、ALD 薄膜沉积设备、光学镜片真空镀膜、OLED/LCD 面板产线、锂电真空注液脱泡、光伏设备、热处理炉、精细化工以及高校科研真空实验腔体

MIYUKI美幸辉 真空压力控制器 MGCS-11

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