MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 BAR-C40 伺服直驱蝶板，无传动背隙，开度调节重复精度高；无金属滑动摩擦，低颗粒析出适配洁净工艺；超低泄漏指标，满足高真空制程；阀体可耐受150℃烘烤；JIS标准法兰，法兰规格可定制；可与MGCS‑11控制器成套实现PID闭环压力控制；启闭噪音低，维护简单。

MIYUKI美幸辉 压力控制阀 GAR-I100B 小开度压力控制稳定，启闭噪音低；超低泄漏，满足高真空工艺指标；接气SUS304+FKM密封，耐工艺气体腐蚀；可与MGCS‑11控制器成套实现PID闭环调压；阀体支持150℃烘烤，维护简单。