MIYUKI美幸辉 气动真空蝶阀 BH-C40 双气缸三工位结构，单阀实现慢抽、慢破真空与大通量快速排气；慢开角度0‑45°机械可调，抑制气流冲击保护晶圆工件；CF刀口法兰，金属密封适配超高真空系统；接气SUS304镜面电解抛光，低放气低颗粒析出；超低泄漏指标，阀体支持150℃烘烤；标配位置微动开关，阀位状态可接入PLC；阀体超薄，流导性能优异，安装无姿态限制；取消外置旁路针阀

MIYUKI美幸辉 气动真空蝶阀 B-I100 齿轮齿条气动驱动，结构简洁可靠，仅全开全关两位动作；薄型阀体，同口径下流导性能优异；接气SUS304镜面抛光，低放气、低颗粒析出；超低泄漏指标，满足高真空工艺要求；阀体可耐受150℃烘烤；ISO‑F100法兰，管路装配便捷；可选配位置微动开关，向PLC反馈阀门状态；气动驱动无电火花，适配易燃易爆工艺气体；维护简单适合设备长时间连续运行。

MIYUKI美幸辉 气动真空蝶阀 B-J25 齿轮齿条气动驱动，两位式全开全关，结构简单可靠；接气SUS304镜面抛光，低放气、低颗粒析出；超低泄漏指标，满足高真空工艺；阀体可耐受150℃烘烤；JIS标准法兰，装配占用空间小；可加装位置反馈开关，向PLC反馈阀门开闭状态；气缸壳体轻量化，维护简单，只做通断切断，无连续节流调节功能

MIYUKI美幸辉 电动真空蝶阀 BJ4-J150-MB 单阀实现全闭切断+流导调节，减少真空管路阀门数量与泄漏点位；伺服直驱+高精度减速机，开度定位重复精度高；MB电磁刹车，断电锁止阀板，避免停电大气倒灌；支持差压状态直接开启阀门；外部角度指示器，现场直观读取阀板开度；超低泄漏指标，接气SUS304镜面处理，低颗粒析出；阀体可耐受150℃烘烤；JIS150法兰，管路对接便捷

MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 BAR-C160 伺服直驱蝶板，无传动背隙，开度调节重复精度高；无金属滑动摩擦，低颗粒析出，适配洁净工艺；大口径CF160刀口法兰，高流导，大腔体适配；超低泄漏指标，满足高真空制程；阀体可耐受150℃烘烤；可与MGCS‑11控制器成套实现PID闭环压力控制；启闭噪音低，维护简单。