FLUORO福乐 努利非接触晶圆卡盘 BC-P6-300 1、伯努利气流悬浮原理，无接触式吸附，不触碰晶圆正面线路膜层，保护光刻、镀膜面。 2、适配 6 英寸、厚度 300μm 以内薄晶圆，导电尼龙材质，ESD 防静电、低发尘，洁净室可用。 3、支持 20°/45°/90° 多角度操作，标准供气压力 0.15MPa，搭配调压气源使用，拆装维护简单。

FLUORO福乐 真空泵 FV-30-110 1、无油隔膜结构，进出气内置 HEPA 过滤器，0.3μm 过滤效率 99.97%，适配洁净车间。 2、防静电尼龙壳体，5W 低功耗，带滤芯可视观察窗，便于判断滤芯更换时机。 3、负压稳定，可长时间连续运转，体积小巧轻便，适配 FLUORO 全系真空吸笔。

FLUORO福乐 真空吸笔 F002-D-X-101-01 1、PTFE 氟树脂一体笔身，耐各类强酸、蚀刻药液，低金属析出，适配湿法槽内作业。 2、D 常开阀体搭配 X 球状万向旋转接头，笔杆 360° 转动，按键释放工件，多角度取放灵活。 3、模块化快拆结构，可超声波清洗，低发尘防静电，适配高等级洁净环境。

FLUORO福乐 特氟龙耐化学真空吸笔 F003-X-05-VP 1、PTFE 氟树脂笔身，耐强酸强碱蚀刻药液，低金属析出，适合湿法槽体环境使用。 2、球状万向接头可 360° 转动，NO+SW 自锁阀门，开启后持续吸附，无需长按按键。 3、吸头为 Vespel 材质，低发尘、防静电，模块化结构，支持超声波清洗维护。

FLUORO福乐 抗静电真空吸笔 C003-X-97-CP 1、球状万向旋转接头，笔身可多角度偏转；NO+SW 自锁阀门结构，开启后可保持持续吸附，不用一直按住按键。 2、笔身为导电尼龙，吸头导电 PEEK 材质，ESD 防静电、低发尘，干式无尘环境专用。 3、模块化分体设计，吸头可单独更换，适配配套真空泵，长时间作业不易疲劳。