FLUORO福乐 努利非接触晶圆卡盘 BC-P6-300
1、伯努利气流悬浮原理，无接触式吸附，不触碰晶圆正面线路膜层，保护光刻、镀膜面。
2、适配 6 英寸、厚度 300μm 以内薄晶圆，导电尼龙材质，ESD 防静电、低发尘，洁净室可用。
3、支持 20°/45°/90° 多角度操作，标准供气压力 0.15MPa，搭配调压气源使用，拆装维护简单。

FLUORO福乐 努利非接触晶圆卡盘 BC-P6-300

FLUORO 福乐（Fluoromechanic），总部位于日本东京，专注半导体晶圆防静电搬运工具，主营真空吸笔、晶圆夹持器，采用氟树脂、PEEK 材质，低污染无划伤，多用于硅片、碳化硅基板、光学元件取放作业。

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