LINTEC琳得科 温度控制器 MC-7100C 高速响应，满足 ALD 脉冲式气体快速切换需求。 低温热传感结构，可防止臭氧等热敏气体受热分解。 SUS316L 阀体 + Au 金属密封，耐腐蚀性高纯工艺气体，低发尘。 EtherCAT 实时总线，流量数据高速同步上传上位控制系统。

LINTEC琳得科 小型载气热交换器 HX-0100C US316L 金属流道，低微粒，适配高纯惰性 / 腐蚀工艺气体。 PID 精密温控，载气温度稳定，避免前驱体蒸汽在管路冷凝。 内置过热保护，超温自动断电，保障工艺安全。

LINTEC琳得科 高温大流量耐腐蚀控制器 MM-3202L-TN 高温改良版本，支持高 120℃环境、150℃烘烤，适配高温气体柜工况。 自研温度补偿热式传感器，高温环境下流量测量稳定。 SUS316L+Au 金属密封，低发尘，适配高纯、腐蚀性工艺气体。 金属壳体搭配噪声滤波器，抗射频、磁场干扰，复杂半导体车间稳定运行。 模拟 + RS485 双信号输出，对接 PLC / 上位系统，实时上传流

LINTEC琳得科 高速响应型质量流量控制器 MC-7000C 超高速响应，满足 ALD 工艺快速脉冲式气体供给需求。 低温传感结构，抑制臭氧等热敏气体受热分解。 SUS316L+Au 金属密封，耐腐蚀性工艺气体，发尘量低。 EtherCAT 高速工业总线，实时流量上传，同步控制性能优异。 压电驱动阀，流量闭环调节稳定，重复性高

LINTEC琳得科 气体质量流量控制器 MC-3102S 低温传感设计，传感器温升低，可抑制臭氧等热敏气体受热分解。 SUS316L 阀体 + Au 金属密封，耐腐蚀性工艺气体，低发尘，适配超高纯制程。 内置高速压电阀，闭环流量调节，响应快，工艺流量稳定。 模拟 + RS485 双信号接口，本地设定或上位机远程监控均可。 内置多组产品配方存储，换规格时快速切换参数。