LINTEC琳得科 高效前驱体小型汽化器 VU‑430 流体喷嘴雾化充分，低蒸气压前驱体可稳定气化。 SUS316L+Au 金属密封，低发尘，适配各类金属有机前驱体。 分段式温控设计，抑制前驱体热分解，气化输出蒸汽稳定。 内置过热保护，超温自动断电，保障工艺安全。 结构紧凑，方便集成在半导体气体柜、ALD 设备内部。

LINTEC琳得科 数字式液体质量流量控制器 LC-3000L 热式原理直接测量液体质量流量，降低压力、温度带来的流量波动影响。 SUS316L+Au 金属密封，耐各类高纯有机前驱体、腐蚀性化学药液，低发尘。 内置压电驱动阀，闭环流量调节，响应稳定，适合微小液体流量精密控制。

LINTEC琳得科 臭氧专用质量流量控制器 OOZ‑1‑10K 低温传感设计，有效避免臭氧受热分解，保障臭氧工艺浓度稳定。 SUS316L+Au 金属密封，耐臭氧强氧化腐蚀，低发尘满足半导体超高纯制程。 内置高速压电阀，流量闭环调节，响应速度快，工艺稳定性高

LINTEC琳得科 液体流量传感器 MM-3102L 比例式开度调节，非简单开关阀，能够连续微调流量。 SUS316L 金属密封，低发尘，适合高纯有机前驱体、化学药液。 低死腔流道，减少液体残留，降低微粒产生。 电压信号直接设定开度，控制逻辑简单。 与 LM3000L 配套，可组成整套液体质量流量控制器。

LINTEC琳得科 液体流量传感器 CV-1000 比例式开度调节，非简单开关阀，能够连续微调流量。 SUS316L 金属密封，低发尘，适合高纯有机前驱体、化学药液。 低死腔流道，减少液体残留，降低微粒产生。 电压信号直接设定开度，控制逻辑简单。 与 LM3000L 配套，可组成整套液体质量流量控制器。