USHIO牛尾 晶圆全视场投影曝光机 UX-4458SC 非接触式曝光，保护掩膜，减少掩膜损耗；景深大，适配厚光刻胶、凹凸不平基板；可沿用传统接触式光刻机掩膜，无需重新制作；曝光均匀性好，适合中小尺寸晶圆试样与小批量生产；集成光量监控，曝光工艺稳定性高

USHIO牛尾 晶圆全视场投影曝光机 UX-4440SC 非接触式曝光，保护掩膜，减少掩膜损耗；景深大，适配厚光刻胶、凹凸不平基板；可沿用传统接触式光刻机掩膜，无需重新制作；曝光均匀性好，适合中小尺寸晶圆试样与小批量生产；集成光量监控，曝光工艺稳定性高

USHIO牛尾 晶圆全视场投影曝光机 UX-44101SC 非接触式曝光，避免掩膜划伤损耗；整片一次性曝光，生产效率优于接触式 / 接近式光刻机；大景深，兼容凹凸不平基板；原有传统掩膜可直接复用，无需重新制掩膜；光学均匀性高，良率稳定

USHIO牛尾 大型湿式喷淋蚀刻机 ED－3000 大功率中压汞光源，紫外辐照强度高；广谱紫外输出，适配多种 UV 固化油墨、涂料；长发光弧，适合宽幅面生产线；耐高温石英玻璃管；可配套专用反射罩提升紫外利用率

USHIO牛尾 小型湿式喷淋蚀刻机 ED-1200 大功率中压汞光源，紫外辐照强度高；广谱紫外输出，适配多种 UV 固化油墨、涂料；长发光弧，适合宽幅面生产线；耐高温石英玻璃管；可配套专用反射罩提升紫外利用率