EKUSA 氟树脂管道加热器 EM-R 接液材质 PFA，无金属溶出，满足半导体高洁净制程。体积小巧，便于狭小管路空间安装。升温响应平稳，温控稳定。耐酸碱腐蚀，适配多种高纯药液。维护拆装简单。

EKUSA 氟树脂超纯水在线加热器 EHS-6 陶瓷密封结构，耐磨抗杂质，延长使用寿命。集成多通道，同步输送多种介质。体积紧凑，便于主轴端安装。具备良好防泄漏性能，适配车床、加工中心工况。

EKUSA 氟树脂超纯水在线加热器 EHS-5 陶瓷密封结构，耐磨抗杂质，延长使用寿命。集成多通道，同步输送多种介质。体积紧凑，便于主轴端安装。具备良好防泄漏性能，适配车床、加工中心工况

EKUSA 氟树脂超纯水在线加热器 EHS-1 轴承一体化结构，体积小巧，减轻主轴负载，适配超高速主轴。 陶瓷耐磨密封，高速旋转工况下泄漏低，支持干空转。 最大 8mm 轴向补偿行程，适配主轴伸缩、热伸长工况。 V 型号介质限定干燥空气与真空，输送冷却液请选用 ESX20M 系列。 热压式密封连接，密封稳定性好，拆装维护便捷。 同系列还有 ESX20V-L116Y，接口规格不同，按需选型。