RIX瑞顾克斯 半导体专用旋转接头 LX88V-12677 八角轴适配结构，和主轴八角轴直接对接，安装便捷，同轴度稳定。 陶瓷耐磨密封，适配干燥空气 / 真空工况，干运转性能稳定。 内置轴承一体化结构，体积紧凑，节省主轴安装空间。 本体固定式安装，旋转部分跟随主轴八角轴同步转动。 密封组件可单独更换，维护简单，降低停机成本。

RIX瑞顾克斯 机床用旋转接头 LX86M-244 双排水结构，垂直安装时排水性能优异，保护内部轴承，延长使用寿命。 陶瓷耐磨端面密封，高速工况下泄漏量低，支持干空转。 内置轴承一体化结构，同轴度稳定，适配机床主轴高速旋转。 单通道贯通式设计，满足主轴中心出水需求，结构紧凑节省空间。 密封组件可单独更换，维护简单，降低设备停机成本。

RIX瑞顾克斯 四通道半导体洁净旋转接头 MFES-4P 4 路独立流道，可同步输送多种工艺介质，各通道之间不会串液串气。 耐磨密封结构，可耐受研磨浆料固体颗粒，长时间运转泄漏低。 氟化树脂接液材质，离子析出低，降低晶圆污染风险，满足半导体洁净制程。 法兰内嵌式安装，同轴度易保证，适配抛光机主轴狭小安装空间。 密封组件可单独更换，维护简单，缩短产线停机时间。

RIX瑞顾克斯 五通道半导体洁净旋转接头 MFES-5P 5 路独立流道，可同步输送多种工艺介质，通道之间不会发生串液串气。 耐磨密封结构，可耐受研磨浆料内固体颗粒，长时间运转泄漏量低。 氟化树脂接液材质，离子析出低，降低晶圆污染风险，满足半导体洁净制程。 法兰内嵌式结构，同轴度容易保证，适配抛光机主轴狭小安装空间。 密封组件可单独更换，维护方便，缩短产线停机时间。 属于设备定制机型，标准现货较少

RIX瑞顾克斯 三通道半导体洁净旋转接头 MS-3P 3个独立通道，可同时输送真空、吹扫空气、冷却水，各管路介质互不串流。 机械滑动密封结构，运转稳定，泄漏量低，适配半导体洁净工况。 SUS 不锈钢本体，低析出污染，保护晶圆，满足洁净制程要求。 法兰安装，结构紧凑，适合晶圆冷却载台狭小安装空间。 可单独更换密封组件，维护便捷，缩短产线停机时间。