RIX瑞顾克斯 六通道半导体洁净旋转接头 MF-6P
6 路独立流道，多介质同步输送，各通道介质互不串流。
耐磨密封结构，耐受研磨浆料固体颗粒，长时间运转泄漏低。
氟化树脂接液材质，低离子析出，降低晶圆污染风险，满足半导体洁净制程。
法兰内嵌式安装，同轴度易保证，适配抛光机主轴狭小安装空间。
密封组件可单独更换，维护便捷，缩短产线停机时间。
属于订单定制机型，现货少，参数可根据工艺调整。

RIX瑞顾克斯 六通道半导体洁净旋转接头 MF-6P

RIX 瑞顾克斯（リックス株式会社），1964 年设立，日本旋转接头与精密清洗设备专业厂商，主打机床旋转接头、高压精密清洗机、高压柱塞泵、零部件去毛刺清洗装置，密封可靠，多用于机床主轴冷却、汽车零部件、半导体元器件精密清洗场景

RIX瑞顾克斯 六通道半导体洁净旋转接头 MF-6P

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